采用了耐藥品、耐油性都很優秀的特氟龍(PFA)
? 能夠民晶圓片洗凈槽的硫酸等高溫液體的檢測相對應。(-40 ~ +200℃)
? 實現了0.5mm的高重復精度。
? 采用了防止液體的結構。

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