采用了耐藥品、耐油性都很優(yōu)秀的特氟龍(PFA)
? 能夠民晶圓片洗凈槽的硫酸等高溫液體的檢測相對應(yīng)。(-40 ~ +200℃)
? 實現(xiàn)了0.5mm的高重復(fù)精度。
? 采用了防止液體的結(jié)構(gòu)。

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